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直线电机

FUM定位工作台系列

FUM定位平台采用无槽直线电机及盘式DDR为动力,利用交叉滚子导轨与轴环做导向,内置高分辦率光栅,实现XY0三轴联动。是理想的测量仪器和检测设备的定位机构,可用于诸如半导体/液相关制造设备和清洁环境下的图像对准处理。
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FUM定位平台采用无槽直线电机及盘式DDR为动力,利用交叉滚子导轨与轴环做导向,内置高分辦率光栅,实现XY0三轴联动。是理想的测量仪器和检测设备的定位机构,可用于诸如半导体/液相关制造设备和清洁环境下的图像对准处理。

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输出端轴承采用圆锥滚子轴承,大大提高了产品轴向力。
输出轴形式新增了法兰盘面输出,底座安装,可用于大负载旋转平台应用使用。
伞齿采用高强度渗碳合金钢,磨齿工艺,有效保证了产品的使用精度及噪音。
速比任意配,接行星减速机速比可以最高可以做到2000速比。
箱体内部采用进口润滑脂,免维护保养。
箱体采用高强度铝合金,保证强度的同时整机安装更加轻便。

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VRB高精密型行星减速机

1.静音
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2.高精度
背隙低于3公分、定位精确。
3.高刚性、高扭矩
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